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我校又一国家自然科学基金项目获准立项

编辑:  点击:  时间:2010-10-26  作者:  来源:

????本网讯? 近日,接国家自然科学基金委员会通知,我校机械工程系王生怀博士申报的2010年度国家自然科学基金项目“微纳表面结构的区域测量与表征方法研究” (专项基金项目 批准号:51006132),经过专家评审和基金委审批,获准立项,资助金额10万元。这是我校继去年成功申报3项国家自然科学基金项目后取得的又一成绩。该项目提出了微纳表面结构的区域测量与表征的新方法,适用于微传感器、微机电系统(MEMS)、纳米电机系统(NEMS)、光学器件等的结构表面的测量和表征,在精密及超精密加工和半导体光刻等领域中,具有广泛的应用前景。???????????截止目前,学校共有4项在研国家自然科学基金项目。

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